374.参加会展买AMSL光刻机

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桑德斯实在是太拉风了，只要有他在，所有的目光都会汇聚在他身上，赵德彬几乎可以完美隐身。

凡是桑德斯所到之处，所有厂商都对他非常热情，换了赵德彬可能还会觉得有点麻烦，但桑德斯明显乐在其中，可看得出来，他非常享受这种追捧。

赵德彬此行主要目标是光刻机，现在基本上已经确定好了要从彗普买的设备名单，彗普现有的光刻机赵德彬看不上，他准备低价买进给a生产a386，以后淘汰了还可以用来生产vcd芯片等乱七八糟的小东西。

至于拉扎那边的486，以及未来的586，赵德彬准备买最新型号的设备。

赵德彬在会场里逛着，很快就和其他人走散了，身边只剩了一个凯茜。

会场很大，参展的厂商很多，但能满足赵德彬要求的也就那么几家，用一只手就能数的过来。

在1991年，生产光刻机最牛逼的厂商是两家倭国企业：霓康和嘉能，后世大名鼎鼎的al勉勉强强能排到第三。

霓康是老大，在全世界的光刻机市场上都占据着超过50的份额，一年要出货400台设备；

到了老二嘉能就少了很多了，也就百多台的样子；

至于al就更可怜了，一年能卖出去五十台设备就烧高香了。

赵德彬分别到霓康和嘉能的展台上看了看，霓康最新型号的光刻机是nknnr-1505g2，嘉能的是fpa-20004，赵德彬并没有对这两个型号动心，除了他本能地不想买倭国人的东西以外，这两款设备总让赵德彬感觉是完全过时的产品。

然后，赵德彬又踱到了al的展台上。

与霓康和嘉能一样，al也直接拉过来一台光刻机摆在展台上。

不同的是，al展台人流量少了很多。

赵德彬的形象一看就是有钱人，像他这样的人出现在这里，别人都会以为他是来自东亚的厂二代，这样的人无疑是家里有矿的存在，经济实力非常强。

所以，从赵德彬露面伊始，al的工作人员立刻迎了上来，先是塞了一份宣传册在赵德彬手里，然后热情地对着赵德彬介绍：

“先生，你好。

现在展出的是我们公司在今年3月上市的新型号，pa5500，这可以称得上是一款划时代的产品。

pa5500是一款高吞吐量线步进机，它采用365纳米波长的光，能够实现280纳米分辨率。

它利用5倍的缩小和投影功能，通过步进和重复将光掩模图案转移到用户基板上。

目前，市场上只有我们这款设备是线的，其他公司，包括霓康和嘉能的设备都是g线的。

并且，我们的设备可以处理8英寸的晶圆，这可以显著提高效率，并且降低成本。

另外，我们有全自动晶圆处理系统，可以容纳从直径200毫米的晶圆到小块的基板。

前不久，位于新约市东菲什基尔晶圆厂刚刚采购了一批我们的设备，用于建造8英寸晶圆生产线。”

这里所说的“线”和“g线”指的是不同类型的光刻胶，这是根据曝光光源波长来分类的：

g线对应着436n的波长，应用于6寸晶圆、

线是365n，用于6寸、8寸晶圆、

深紫外，也就是dv，包括krf248n（用于8寸晶圆）和arf193n（12寸晶圆）、

以及我们熟知的极紫外(ev)，用于12寸晶圆。

这也是光刻机的演进方向。

在1991年，大多数的光刻机还是第一代g线设备，第二代线设备暂时只有al这款pa5500。

后世，动不动上亿丑元的光刻机指的就是ev。

而之所以半导体厂商都在追求越来越大的晶圆尺寸，这是因为晶圆的面积越大，浪费的边角料越少，实际上能得到的de（晶粒）更多。

比如，在1988年，为实现从碟子大的6英寸到餐盘大的8英寸的升级，豪掷10亿丑元，研发了世界第一条8英寸晶圆生产线以及配套工艺，就因为8寸晶圆的面积是6英寸的177倍。

后世，晶圆大小已经发展到了12英寸。

赵德彬对这款设备很感兴趣，他问道：“叠加精度和数值孔径是什么？产量怎么样？”

“叠加精度40纳米，数值孔径是048至060，产量是每小时84片晶圆。”

“嗯，不错，”赵德彬点点头，他感觉这就是他想要的设备。

见状，凯茜很有眼色地到一旁给桑德斯和拉扎打电话。